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 超高真空系統球閥選型方法

用真空泵抽真空室時，先抽走的是容積中的大氣(這部分氣體很快被抽走)。然后是材料表面解吸的氣體、材料內部向表面擴散出來的氣體、以及通過器壁滲透到真空中的氣體。解吸及擴散到表面再解吸氣體的衰減速率非常緩慢，需要時間很長。一臺金屬密封的不烘烤的真空系統，計算表明，要達到超高真空(低于10 ^-7Pa)所需大約10^8h，可見不采用烘烤技術想得到超高真空是很困難的。真空球閥為直通式,靠球面密封,因而既能用在真空狀態下,也能在低壓狀態下使用,并可任意位置安裝達到接通或切斷真空系統管道路中的介質流。應用于真空、乳制品、酒業、生物工程、食品、制藥、飲料、化妝品及化工領域。可選配反饋信號裝置及電氣閥門定位器
金屬材料都是通過熔煉和鑄造得到的，在此過程中，空氣中的氫、氧、氮和碳的氧化物不同程度地溶于材料之中。存放材料時，其表面還會吸附大量氣體，主要是水蒸氣、氧、氮、碳的氧化物等。材料加工過程中的再污染及其本身的非致密性引起的滲透，這些因素就構成了真空中的主要氣源。高真空(壓力)球閥用于接通或切斷真空(壓力) 系統管路中的介質流。高真空球閥應用于真空、乳制品、酒業、生物工程、食品、制藥、飲料、化妝品及化工領域。真空球閥的型式、性能參數：真空球閥有手動、電動和氣動三種型式。

 超高真空系統球閥選型方法主要零件材料
閥體、閥蓋、閥桿：不銹鋼
密封件：四氟乙烯、丁腈橡膠、氟橡膠、PPL。

高真空球閥主要技術性能
閥門漏率：≤1.3×10-4 Pa.L/S
適用溫度： -30~+150℃;-30~+150℃(PPL密封)
使用壓力范圍(Pa)
活套法蘭：(GB6070、JB919)：0.6×106 ~1.3×10-4
焊接法蘭(GB6070、JB919)：1.6×106 ~1.3×10-4
快卸法蘭(GB4982)：0.1×106 ~1.3×10-4
螺紋連接：1.6×106 ~1.3×10-4

 超高真空系統球閥選型方法在真空系統中的作用：
1.開關氣路，當閥1和閥4關閉，閥2打開時，機械真空泵Ⅲ對容器I抽真空，氣流流經預真空抽氣管路；當閥2關閉，閥4打開時，機械泵可單獨對擴散泵抽真空；當閥1和閥4同時打開時，擴散泵和機械泵可同時工作，對容器進行抽空，此時氣流流經擴散泵。可見，閥門在這種操作中的作用是開關氣路，改變氣流的流經路線。

2.控制氣流大小，調節真空度在圖1中，調節閥1的閥蓋開啟角度，即可調節流經管路的氣流量大小；關閉閥2和閥4，通過放氣閥3可以給機械泵Ⅲ的入口放成大氣；通過放氣閥5可以調節容器內的真空度。
 
3.定量充氣，在玻璃閥的柱塞上有個一定體積的小洞，當小洞轉向右邊和高壓氣瓶連通時，小洞中就可充滿高壓氣體；當它轉向左邊和真空容器連通時，就把該體積的高壓氣體放進容器中去，這樣就起到了定量充氣的作用。

 超高真空系統球閥選型方法
真空閥門的種類繁多，通常按閥門的職能、結構型式、驅動方式、材料和用途進行分類。

超高真空所需要的材料，除滿足真空材料一般要求外，還應滿足下列要求：

①在烘烤溫度下，材料不應該喪失其機械性能;殼體材料能承受外部大氣壓力。一般低熔 點金屬和軟玻璃滿足不了這種要求。

②材料在烘烤溫度下蒸汽壓要低。

③材料的滲透氣體量不能超過允許值。

④材料加熱時不易變形。

⑤材料表面容易拋光。

 超高真空系統球閥選型方法從這些要求出發，適于超高真空中用的通用材料有：

不銹鋼——超高真空系統中主要用材，常用于做殼體、管道、法蘭以及各種真空元件。我國超高真空系統常用材料是1Cr18Ni9Ti，美國多用304不銹鋼，其次還有304L、316、316L、 321、347等;英國多用347;其它歐洲各國常用316不銹鋼。不銹鋼材質很好，但采用焊接工藝不當，亦會造成晶間腐蝕、熱裂縫、氣孔、奧氏體焊縫脆化等缺陷，影響殼體的氣密性。資料[59]中詳細分析了這些缺陷產生的原因及消除方法。